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北京普瑞微纳科技有限公司
发布时间:2010-05-10    来源:不详   阅读次数:1111 分享到:

    北京普瑞微纳科技有限公司专注于光学技术研发领域,探索光学仪器制造技术,着重发展尖端电子光学、精密机械以及计算机相结合的光、机、电一体化的电子光学仪器,是集研发、制造、销售及服务为一体的专业化公司。
    公司拥有一支包括光学、精密机械、软件、图像处理等专业的研发团队,技术总监为多年在国外从事光学精密测量和控制领域的专家、核心成员均具有国外专业机构多年的研发背景,大多为学有所成的高端人才。公司拥有多项自主核心专利,在技术的发展和创新方面处于业界领先地位。采用自主专利技术研制并成功推出的PR05/06系列白光干涉三维形貌仪达到国际同类产品的先进水平,填补了国内在这一领域的产品空白。
    公司致力于成为光学干涉精密测量、在线检测设备、精密控制系统、数字信号处理系统、机器人手臂、纳米材料研发等领域的领先企业。用创新的理念、精湛的技术、优质的产品和专业化的服务,成为用户最有价值和值得信赖的合作伙伴。

产品系列

白光干涉仪

激光测距仪

精密控制系统
在线检测系统
数字信号处理
机器人手臂
纳米材料


 

产品名称  PR系列白光干涉三维形貌仪

产品型号  PR05/06系列

产品介绍

PR系列白光干涉三维形貌仪是本公司采用自主核心的专利技术研制开发并成功推出的高精密测量仪器。仪器采用白光干涉原理,测量样品表面微细形状分布。是综合运用光电子技术、微弱信号检测技术、精密机械设计和加工技术、数字信号处理技术、应用光学技术、精密控制技术、计算机高速采集和控制技术、高分辨图形处理技术等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品。为使用者提供高精确度、高解析度、快速、非接触的三维形貌测量。可以快速测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸至纳米级别。操作方便快捷、应用范围广泛。仪器分高精度型和标准型,满足用户不同级别的测量需求。

产品原理

照明光束经半反半透分光镜分成两束光,分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光,并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉,在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差,根据干涉条纹明暗度解析出被测样品的相对高度。

使用特点

非接触测量 避免被测件受损

高速度测量 最高可达97µm/s

高精度测量 垂直解析度0.1nm,水平解析度0.43um

高稳定测量 标准台阶重复测量性≤1% @1σ

大面积测量 自动缝合的大范围型号可供选择

专利技术的解析算法

透明膜形状测定功能

友好的人机界面 PuruiVision应用软件功能强大

多参数选择 可以测量三维形貌、粗糙度等指标

适用范围广 可以测量多种类型样品的表面结构

真正意义上的免维护设备

优良的性价比

应用领域

精密机械加工表面/半导体硅片及设备/MEMS装置表面/磁数据存储设备/先进材料/光电精密制造/金属摩擦学/薄膜陶瓷等表面/聚合物和生物材料/光学器件表面

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